各等级洁净室的空气净化处理系统，一般应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。室外新风需全部经过上述三级过滤，室内回风可仅经过中效、高效两级过滤。对于房间密封性良好，布局合理的100000级乱流洁净室，经计算能满足洁净度要求的情况下，末级空气过滤器可以采用亚高效过滤器，但应

根据室外含尘浓度高低等因素，比高效空气净化系统增加换气次数10%～20%。对于洁净度等级低于100000级的一般洁净房间，末级过滤器可采用亚高效过滤器或高中效过滤器。

    1．初效空气过滤器宜采用无纺布初效过滤器，也可采用粗孔泡沫塑料过滤器，不应选用浸油式过滤器。过滤器可以组合在空调器内，也可以在新风管路上单独安装。

   2．中效空气过滤器一般采用无纺布中效过滤器和玻璃纤维中效过滤器，也可采用以合成纤维为滤料的高中敢过滤器或静电过滤器。中效过滤器一般集中安装，并考虑检修方便。过滤器和框架连接处要加密封垫片。

   3．高效空气过滤器大多采用玻璃纤维滤纸作滤料。宜设置在净化空调送风系统的末端。高效过滤器的安装要有可靠的密封措施，并且易于检漏和更换。高教过滤器侧布时（如侧送、水平层流洁净室的送风墙等），其波纹板要垂直于地面。

   4．采用散流器送风的净化空调系统，高效过滤器宜集中安装，但必须在系统的正压段。

   5．初效、中效空气过滤器的设计风量宜按额定风量选用。乱流洁净室的亚高效、高教空气过滤器的设计风量宜按略小于额定风量值选用。层流洁净室高效过滤器的设计风量应根据布置的要求确定。