半导体净化工程中公用动力系统的能源有效利用与补偿

（4）RTWD 螺杆热泵项目

RTWD 螺杆热泵机组是一台小型冷冻机，但是与常规的冷冻机相比，其冷却水侧的出口温度可以达到 55℃以上，此项节能改造，就是在热水各支路回水管和冷水回水集水器之间引入2台RTWD220螺杆热泵机组。螺杆机组工作时，冷凝器产生 55℃的热水，蒸发器产生 7℃的冷冻水，这样不但提升了热水系统的回水温度，同时降低了冷冻水系统的回水温度，实现既减少热水系统蒸汽耗量，又可降低冷冻机制冷负荷，节约用电量的双重节能效果。RTWD 热泵系统见图4。

RTWD220 制热量 789 kW、制冷量 576.6 kW，制热效率达 3.74，制冷效率达2.74，RTWD 机组2台，每台功率 211 kW；冷冻水泵3台（2用1备）,每台功率 5.5 kW；热水泵3台（2用1备），每台功率 7.5 kW。RTWD 热泵系统的分月流量、制热量见表4。

年节约蒸汽量按全年使用计算约为 14 284 t，同时制热、制冷的全年节电量约为 129.96万kWh。机组制热耗电量按4个月（120 天）开 2 台、8个月（240天）开1台，每天运行 24 h 计算约为243.07 万 kWh，水泵耗电约为 29.95 万 kWh，综合年耗电 143.06 万 kWh。节能成果，RTWD热泵系统安装有电能表和热能表，2010年2月投入运行使用后，蒸汽用量和冷冻水负荷明显降低，表5是RTWD热泵系统制热量和节能量，全年累计节约蒸汽量为 15831 t，折合标煤 1488.12 t，节约蒸汽费用为397.24 万元。表6是 RTWD 热泵制冷量和节能量，全年累计节约电量为 244.69 万 kWh，折合标煤988.55 t，节约电

费为 146.81万元。表7 是RTWD热泵系统耗电量。全年 RTWD 机组及水泵累计耗电量为 314.59 万kWh，折合标煤 1270.94 t，运行费用为 188.76 万元。RTWD 热泵系统总共的节约费用 323.49 万元，节能量折合标煤为 991.61t。

过滤系统立体图,以上信息由广西鑫华净化工程有限公司提供